Applicazione nell'industria dei semiconduttori
GREEN è un'impresa nazionale high-tech dedicata alla ricerca e sviluppo e alla produzione di apparecchiature automatizzate per l'assemblaggio di componenti elettronici e per il confezionamento e il collaudo di semiconduttori. Al servizio di leader del settore come BYD, Foxconn, TDK, SMIC, Canadian Solar, Midea e oltre 20 altre aziende Fortune Global 500. Il vostro partner di fiducia per soluzioni di produzione avanzate.
Le macchine di saldatura consentono microinterconnessioni con diametri di filo pari a quelli dei fili, garantendo l'integrità del segnale; la saldatura sotto vuoto con acido formico crea giunzioni affidabili con un contenuto di ossigeno <10 ppm, prevenendo guasti da ossidazione in imballaggi ad alta densità; l'AOI intercetta difetti a livello di micron. Questa sinergia garantisce una resa di imballaggio avanzata >99,95%, soddisfacendo i requisiti di test estremi dei chip 5G/AI.

Saldatrice a ultrasuoni per fili
In grado di legare fili di alluminio da 100 μm a 500 μm, fili di rame da 200 μm a 500 μm, nastri di alluminio larghi fino a 2000 μm e spessi fino a 300 μm, nonché nastri di rame.

Campo di corsa: 300 mm × 300 mm, 300 mm × 800 mm (personalizzabile), con ripetibilità < ±3 μm

Campo di corsa: 100 mm × 100 mm, con ripetibilità < ±3 μm
Che cos'è la tecnologia Wire Bonding?
Il wire bonding è una tecnica di interconnessione microelettronica utilizzata per collegare i dispositivi a semiconduttore ai loro contenitori o substrati. Essendo una delle tecnologie più critiche nel settore dei semiconduttori, consente l'interfacciamento dei chip con circuiti esterni nei dispositivi elettronici.
Materiali per fili di collegamento
1. Alluminio (Al)
Conduttività elettrica superiore rispetto all'oro, conveniente
2. Rame (Cu)
Conduttività elettrica/termica superiore del 25% rispetto all'Au
3. Oro (Au)
Conduttività ottimale, resistenza alla corrosione e affidabilità di legame
4. Argento (Ag)
La più alta conduttività tra i metalli

filo di alluminio

Nastro di alluminio

filo di rame

Nastro di rame
Saldatura di semiconduttori e saldatura di fili AOI
Utilizza una telecamera industriale da 25 megapixel per rilevare difetti di collegamento dei die e di saldatura dei fili su prodotti quali circuiti integrati, IGBT, MOSFET e lead frame, ottenendo un tasso di rilevamento dei difetti superiore al 99,9%.

Casi di ispezione
In grado di ispezionare l'altezza e la planarità del truciolo, l'offset, l'inclinazione e la scheggiatura del truciolo; la mancata adesione delle sfere di saldatura e il distacco dei giunti di saldatura; difetti di saldatura dei fili, tra cui altezza eccessiva o insufficiente del loop, collasso del loop, fili rotti, fili mancanti, contatto del filo, piegatura del filo, incrocio del loop e lunghezza eccessiva della coda; adesivo insufficiente e schizzi di metallo.

Sfera di saldatura/residuo

Graffio da scheggiatura

Posizionamento del chip, dimensione, misurazione dell'inclinazione

Contaminazione del truciolo/materiale estraneo

Chip Chipping

Crepe nelle trincee ceramiche

Contaminazione della trincea in ceramica

Ossidazione AMB
Forno di riflusso dell'acido formico in linea

1. Temperatura massima ≥ 450°C, livello di vuoto minimo < 5 Pa
2. Supporta ambienti di processo con acido formico e azoto
3. Tasso di vuoti a punto singolo ≦ 1%, tasso di vuoti complessivo ≦ 2%
4. Raffreddamento ad acqua + raffreddamento ad azoto, dotato di sistema di raffreddamento ad acqua e raffreddamento a contatto
Semiconduttore di potenza IGBT
Un tasso eccessivo di void nella saldatura degli IGBT può innescare guasti a catena, tra cui runaway termico, cricche meccaniche e degrado delle prestazioni elettriche. Ridurre il tasso di void a ≤1% migliora notevolmente l'affidabilità e l'efficienza energetica del dispositivo.

Diagramma di flusso del processo di produzione IGBT